PECVD管式炉采用二个半圆型发热炉胆合二为一，可自由开启，
较大便利各种实验操作，本开启式电炉采用陶瓷纤维内胆，节能高效，能耗仅是普通管式电炉的三分之一，高温电阻丝发热，空气散热，金属外壳，具有节能及可编程序强大功能，准确度可高达±1℃，其精度可与同类产品媲美。
PECVD管式炉的温度控制系统：
温度测量：K分度镍铬--镍硅热电偶；
控制系统：LTDE全自动可编程仪表，PID调节，显示精度1℃；
成套电器：采用接触器，散热风扇，固态继电器；
时间制：可设定升温时间，恒温时间控制，恒温时间到达，自动停机；
超温保护：内置式二级超温保护装置，双重保险。
运行方式：全量程可调节恒温，恒定运行；程序运行。
PECVD管式炉炉体构架：炉体构架由箱体和支架构成，均采用优质型钢和钢板致焊接制作，外表精致美观。
采用双层壳体结构和电40段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温。管两端用不锈钢法兰密封，用流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温速率快、节能等优点具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。
