真空管式炉通过抽真空与精确控温的结合，在密闭环境中实现材料的高温处理，其核心原理及工作流程如下：
一、核心工作原理
真空环境建立
通过真空泵将炉内气压降至极低水平(通常为10⁻³ Pa至10⁻⁵ Pa)，形成接近无氧的低压环境。
目的：避免材料在高温下与氧气、水蒸气等气体发生氧化、挥发或污染反应，确保材料表面纯净度。例如，在金属烧结过程中，真空环境可减少氧化物杂质，提升材料致密度。
加热与控温
加热元件：采用电阻丝(如铁铬铝、镍铬合金)或石墨加热器，通过电能转化为热能，对炉管(石英管或刚玉管)内的材料进行辐射加热。
温度控制：
温控系统(如PID控制器)结合热电偶传感器，实时监测炉内温度，并自动调节加热功率，实现温度精确控制(误差通常≤±1℃)。
升温速率需严格遵循材料工艺要求，例如：
500℃以下：≤5℃/min；
500℃～800℃：≤10℃/min；
800℃～1000℃：≤5℃/min。
最高使用温度受炉管材质限制(如石英管≤1100℃，刚玉管≤1600℃)。
气体保护与工艺气体引入(可选)
在真空环境基础上，可通入惰性气体(如氩气、氮气)或活性气体(如氢气、乙炔)，形成特定气氛条件。
应用场景：
惰性气体保护：防止材料氧化，如高温退火；
活性气体反应：参与材料合成或表面处理，如低压渗碳。
二、关键结构组成
炉体
由双层水冷不锈钢外壳构成，内层为加热腔体，外层为冷却水套，通过循环水冷却防止炉壳过热变形。
炉管(石英管或刚玉管)为反应容器，需具备高透热性、耐高温性和化学稳定性。
真空系统
包括机械泵、分子泵(或罗茨泵)、真空阀门和真空计。
工作流程：机械泵初步抽低真空(至10⁻¹ Pa)，分子泵进一步抽高真空(至10⁻³ Pa以下)，真空计实时监测并反馈数据。
气体输送系统
由气瓶、减压阀、质量流量计和进气管道组成，用于精确控制工艺气体的流量和压力。
分压控制：通过调节气体流量，实现炉内压力在0.01 Torr至10 Torr范围内的精确调控。
温控系统
包含温度控制器、热电偶(或红外测温仪)和加热电源。
功能：根据预设温度曲线，自动调节加热功率，并具备超温报警和断电保护功能。
