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PECVD管式炉的主要特点和使用安全性

更新时间:2020-09-16      点击次数:2450
   PECVD管式炉可使用1200度以下,以硅碳棒或电阻丝为加热元件,主要特点是分为上下两个半圆,在高温状态下需要急速冷却或换管子时,可以打开炉膛,观察物料在高温状态下烧结状态;双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温,炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。此款开启式管式炉也可以有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。
 
  PECVD管式炉的主要特点:
  1.气体预热——增加前端气体预热区,沉积速度更快,成膜效果更好;
 
  2.AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控,协调控制——科探AIO控制系统;
 
  3.管内压力自动平衡——管内压力实时监测,自动平衡管内压力。
 
  4.智能气路通断——每路气体均可定时通断,省时省力;
 
  5.射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间,自动运行;
 
  6.炉膛移动速度可调——根据实验要求,用户可设定炉膛左右移动的速度可距离;
 
  7.整机结构融为一体——移动方便,避免分散组装的困扰。
 
  PECVD管式炉的使用安全性:
  1、炉膛开启自动断电功能,使炉门打开后自动断电。
 
  2、超温保护功能,当温度超过允许设定值后,自动断电及报警。
 
  3、漏电保护功能,当炉体漏电时自动断电。以上功能确保了使用的安全性。

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