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PECVD管式炉的主要特点和使用注意事项

更新时间:2019-09-21      点击次数:3365
PECVD管式炉的主要特点:
1.气体预热——增加前端气体预热区,沉积速度更快,成膜效果更好;
2.AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控,协调控制——科探AIO控制系统;
3.管内压力自动平衡——管内压力实时监测,自动平衡管内压力。
4.智能气路通断——每路气体均可定时通断,省时省力;
5.射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间,自动运行;
6.炉膛移动速度可调——根据实验要求,用户可设定炉膛左右移动的速度可距离;
7.整机结构融为一体——移动方便,避免分散组装的困扰。
 
PECVD管式炉的使用注意事项:
炉管内气压不可高于0.02MPa。
由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议选购减压阀,使用时会更加安全。
当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。
进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。
石英管的长时间使用温度<1100℃。
对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生。

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